Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Alignment techniques for the high precision assembly of hybrid microsystems

Einstelltechniken für die hochgenaue Montage hybrider Mikrosysteme
 
: Brecher, C.; Freundt, M.; Lange, S.; Weinzierl, M.

Zervos, H. ; European Society for Precision Engineering and Nanotechnology -EUSPEN-:
6th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology 2006. Proceedings : May 28th - June 1st, 2006, Baden bei Wien, Vienna
Bedford: Euspen, 2006
ISBN: 0-9553082-0-8
ISBN: 978-0-9553082-0-8
pp.12-15
European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (International Conference) <6, 2006, Baden bei Wien>
European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (Annual General Meeting) <8, 2006, Baden bei Wien>
English
Conference Paper
Fraunhofer IPT ()
microsystem; microtechnology; Mikrosystemtechnik; Montage; Montagegestaltung

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-62479.html