Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Schnelle optische Vermessung von Mikrostrukturen auf tellergroßen Flächen

 
: Beckmann, Tobias

:

JOT. Journal für Oberflächentechnik 60 (2020), No.12, pp.48-51
ISSN: 0940-8789
ISSN: 0021-3756
ISSN: 2192-869X
German
Journal Article
Fraunhofer IPM ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-618123.html