Publica

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Das Partikelmaterial rückt stärker in den Fokus

	JOT. Journal für Oberflächentechnik 60 (2020), Supplement 1, pp.40-41 ISSN: 0940-8789 ISSN: 0021-3756 ISSN: 2192-869X

	German
	Journal Article
	Fraunhofer IPA ()
	REM-Auszählmethode; Partikel; technische Sauberkeit; Rasterelektronenmikroskop

Abstract
Um das Schädigungspotenzial von Partikeln bewerten zu können, werden bei einer steigenden Zahl von Anwendungen Informationen zum Material mittels REM/EDX-Systeme ermittelt. Eine neue Arbeitsgruppe beschäftigt sich nun damit, die Vergleichbarkeit der Analyseergebnisse zu verbessern.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-615595.html