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Beschleunigungssensoren mit großer Bandbreite und geringer Leistungsaufnahme für industrielle Anwendungen

	VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-: MikroSystemTechnik Kongress 2019 : Mikroelektronik - MEMS-MOEMS - Systemintegration - Säulen der Digitalisierung und künstlichen Intelligenz, 28. - 30. Oktober 2019, Berlin Berlin: VDE-Verlag, 2019 ISBN: 978-3-8007-5090-0 ISBN: 978-3-8007-5129-7 pp.119-122
	MikroSystemTechnik Kongress <2019, Berlin>

	German
	Conference Paper
	Fraunhofer ENAS ()