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Laser-Arc-Modul (LAM) - Technologie für die Abscheidung superharter amorpher Kohlenstoffschichten (ta-C, Diamond) mit industriell eingesetzten Beschichtungsanlagen

Laser-arc-module (LAM)
 
: Scheibe, H.J.; Leonhardt, M.; Leson, A.; Meyer, C.F.

Metalloberfläche : mo 61 (2007), No.4, pp.45-47
ISSN: 0026-0797
ISSN: 0043-2792
German
Journal Article
Fraunhofer IWS ()
Laser; Lichtbogen; diamantähnlicher Kohlenstoff; Schicht=nach-Material; Hartbeschichten; Härte; Verschleißfeste Beschichtung; Verschleißfestigkeit

Abstract
Es wird ein Laser-Arc-Modul beschrieben, der es gestattet wasserstoffreie DLC-Schichten abzuscheiden. Diese neue Generation von Schichten (ta-C=tetraedrisch gebundener amorpher Kohlenstoff) besitzen eine um den Faktor zwei bis drei höhere Härte und erreichen eine höhere Verschleißbeständigkeit als die klassischen DLC-Schichten. Der Abscheideprozess für ta-C-Schichten wird beschrieben. Das Laser-Arc- Modul (LAM) wird in die Beschichtungsanlage der Hauzer Techno Coating BV integriert und somit eine industrielle Einführung der Laser-Arc- Technologie erzielt. Damit sind neuartige Schichtsysteme auf der Basis der superharten ta-C-Schichten möglich, wobei die Produktivität der der industriell realisierten Hartstoffabscheidung entspricht.

 

Tetrahedral bonded amorphous carbon (ta-C) layers are a new generation of diamond-like carbon (DLC) layers. Ta-C is hydrogen-free. Coatings made of ta-C have a 2-3 fold higher hardness (4000-5000 HV) and show an improved wear resistance under lubricated and non-lubricated conditions compared with classical DLC coatings. A new technol. for the pptn. of ta-C (Diamor) is described. C-ions, impinging deeply into a surface, form ta-C under the pressure of adjacent atoms if pptn. is performed in vacuum below 100 Deg. The high-energetic C-ions are produced by a short (130 micro s) vacuum arc which had been ignited by a high-energetic laser pulse (laser-arc-principle). This combines the advantages of vacuum arc deposition and pulse laser deposition whereby avoiding unstable arcs which tend to produce particles after prolonged burning duration. A laser-arc-module (LAM) system for industrial applications was developed.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-60533.html