Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Simulation of ion beam direct structuring for 3D nanoimprint template fabrication

 
: Platzgummer, E.; Biedermann, A.; Langfischer, H.; Eder-Kapl, S.; Kuemmel, M.; Cernusca, S.; Loeschner, H.; Lehrer, C.; Frey, L.; Lugstein, A.; Bertagnolli, E.

:

Loeschner, H.:
31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2005. Proceedings : 19 - 22 September 2005, Vienna, Austria
Amsterdam: Elsevier, 2006 (Microelectronic engineering 83.2006,4/9)
pp.936-939
International Conference on Micro- and Nano-Engineering (MNE) <31, 2005, Vienna>
English
Conference Paper, Journal Article
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-59924.html