Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Correlation of elastic modulus, hardness and density for sputtered TiAlBN thin films

 
: Rebholz, C.; Leyland, A.; Matthews, A.; Charitidis, C.; Logothetidis, S.; Schneider, D.

:

Thin solid films 514 (2006), No.1-2, pp.81-86
ISSN: 0040-6090
English
Journal Article
Fraunhofer IWS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-59808.html