Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Mikrosystemtechnisch hergestellte Fabry-Pérot-Interferenzdisplays mit hydrophobisierten Bildpunktmembranen

 
: Knieling, T.

Aachen: Shaker, 2007, VIII, 179 pp.
Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 2007
Berichte aus der Mikrosystemtechnik
ISBN: 978-3-8322-6041-5
ISBN: 3-8322-6041-2
German
Dissertation
Fraunhofer IPMS ()
Display; Interferenzfilter; Mikrooptik; MEMS; Pixel; Ansteuerung; technische Membran; Silicium; Monoschicht; Hydrophobierung; LPCVD-Verfahren

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-58643.html