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Verfahren zur Verarbeitung von Abbildungen von Halbleiterstrukturen, sowie zur Prozesscharakterisierung und Prozessoptimierung mittels semantischer Datenkompression

Method for processing of images of semiconductor structures and for process optimisation and process characterization by means of semantic data compression
 
: Demant, Matthias; Rein, Stefan; Kovvali, Aditya Sai; Greulich, Johannes; Wöhrle, Nico

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EP 3627568 A1: 20180921
English
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ISE ()

Abstract
Die vorliegende Offenbarung betrifft Verfahren zum Verarbeiten von Abbildungen einer Halbleiterstruktur einer Solarzelle, die unter Verwendung von bildgebenden Verfahren erzeugt sind. Entsprechende Verfahren umfassen ein Verarbeiten der Abbildung der Halbleiterstruktur mittels eines trainierten neuronalen Netzes, um eine semantische Repräsentation der Abbildung zu erzeugen, wobei eine Datengröße der semantischen Repräsentation geringer ist, als eine Datengröße der Abbildung. Ferner umfassen Verfahren ein Speichern der semantischen Repräsentation zugeordnet zur Halbleiterstruktur, als Informationsträger von relevanten Informationen der Abbildung für ein Bestimmen einer Eigenschaft der Solarzelle und/oder für eine Kristallanalyse einer Halbleiterstruktur der Solarzelle. Weitere Aspekte betreffen Verfahren zum Verbessern eines Halbleiterprozesses, Verfahren zur Bewertung abgeschatteter Bereiche in ortsaufgelösten Qualitätsbildern von Halbleiterstrukturen sowie Verfahren zum Vorhersagen von zumindest einer Eigenschaft einer Solarzelle.

 

The invention to methods for processing images of a semiconductor structure of a solar cell generated using imaging methods. Suitable methods comprise processing the image of the semiconductor structure by means of a trained neural network in order to generate a semantic representation of the image, wherein a data variable of the semantic representation is lower than a data variable of the image. Methods further comprise storing the semantic representation assigned to the semiconductor structure, as an information carrier of relevant information of the image for determining a property of the solar cell and/or for a crystal analysis of a semiconductor structure of the solar cell. Further aspects relate to methods for improving a semiconductor process, to methods for evaluating shaded regions in spatially resolved quality images of semiconductor structures, and to methods for predicting at least one property of a solar cell.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-586271.html