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UV-Strahlungssensor auf Basis von Diamant

UV Radiation sensor based on diamond
 
: Erlbacher, Tobias

:
Frontpage ()

DE 102018209549 A1: 20180614
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IISB ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft einen UV-Strahlungssensor mit einem strahlungssensitiven Bereich aus Diamant, der an einer ersten Seite eines Halbleitersubstrats ausgebildet und über wenigstens zwei Kontaktelektroden elektrisch kontaktierbar ist. Der strahlungssensitive Bereich weist beim vorgeschlagenen UV-Strahlungssensor zwei unterschiedlich dotierte Bereiche aus Diamant auf, die einen pn-Übergang zur Strahlungsdetektion bilden. Ein derartig ausgebildeter UV-Strahlungssensor hat eine hohe Sensitivität im Wellenlängenbereich ≤ 200 nm.

 

The present invention relates to a UV-radiation sensor with a radiation-sensitive region of diamond, which is formed on the first face of a semiconductor substrate and with which electrical contact can be made via at least two contact electrodes. In the proposed UV-radiation sensor, the radiation-sensitive region has two differently doped regions of diamond that form a pn-junction for purposes of radiation detection. Such a UV-radiation sensor has a high sensitivity in the wavelength range ≤200 nm.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-586176.html