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Vorrichtung zur ortsaufgelösten Detektion und Verwendung einer solchen Vorrichtung

 
: Janes, Joachim

:
Frontpage ()

DE 102018209448 A1: 20180613
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ISIT ()

Abstract
Es wird eine Vorrichtung zur ortsaufgelösten Detektion von Nachweislicht, das von einer zu untersuchenden Oberfläche ausgeht, vorgeschlagen. Die Vorrichtung umfasst einen 2D MEMS Scanner mit einem Mikrospiegel, der ausgebildet ist, um zwei Torsionsachsen zu oszillieren, und einer Messvorrichtung, die die Auslenkwinkel der zwei Torsionsachsen erfasst. Weiterhin sind eine Analysevorrichtung, die mindestens eine sammelnde Linsenanordnung und eine Lochblende aufweist, wobei die Linsenanordnung ausgebildet ist, das von der Oberfläche ausgehende und von dem Mikrospiegel abgelenkte Nachweislicht auf die Apertur der Lochblende zu fokussieren, ein Detektor, der nicht ortsauflösend ist und ausgebildet ist, das durch die Apertur der Lochblende geleitetes Nachweislicht unabhängig von einem Ort auf der zu untersuchenden Oberfläche als Messdaten zu erfassen, und eine Auswertevorrichtung, die ausgebildet ist, die von der Messvorrichtung des 2D MEMS Scanners erfassten Auslenkwinkel mit den von dem Detektor gelieferten Messdaten in zeitabhängiger Weise zu korrelieren und ein zweidimensionales Bild zu erzeugen, umfasst.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-586174.html