Fraunhofer-Gesellschaft

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Verfahren zur Herstellung einer haftvermittelnden Beschichtung

 
: Dreher, Ralf; Emmerich, Rudolf

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DE 102018202438 A1: 20180219
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ICT ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Beschichten eines Trägermaterials, wobei die Beschichtung über eine plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung bei Atmosphärendruck (AP-PECVD) im Remote-Betrieb erfolgt und wobei- die Gasmengenströme des Plasmagases, des Trägergases und des Precursors der folgenden Bedingung genügen:- und die mittlere eingespeiste Leistung und der Gasmengenstrom des Precursors der folgenden Bedingung genügen:

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-586050.html