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Optische Anordnung zur Ausbildung von Strukturelementen mit schräg geneigten Oberflächen

 
: El-Khoury, Mikhael; Lasagni, Andrés-Fabián; Alamri, Sabri; Kunze, Tim; Voisiat, Bogdan

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Frontpage ()

DE 102018200037 A1: 20180103
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IWS ()

Abstract
Optische Anordnung zur Ausbildung von Strukturelementen mit schräg geneigten Oberflächen, bei der ein Laserstrahl in mindestens zwei Teilstrahlen geteilt und diese auf ein optisches Element auf eine Oberfläche gerichtet sind Das optische Element ist senkrecht zu den optischen Achsen translatorisch auslenkbar oder mindestens zwei optische Elemente werden entweder einzeln oder gemeinsam um eine Achse gedreht, so dass deren Einfallswinkel θ auf die jeweilige Oberfläche veränderbar ist. Ein optisches Element, das eine Bewegung ausführt, ein fokussierendes optisches Element ist, wodurch der Einfallswinkel θ der auf die jeweilige Oberfläche auftreffenden Teilstrahlen veränderbar ist oder ein optisches Element eine reflektierenden Oberfläche aufweist, mit der die Teilstrahlen in einem Winkel größer 0 ° auf die Oberfläche umlenkt und Teilstrahlen in Abhängigkeit des bei einer translatorischen Bewegung zurück gelegten Weges der Einfallswinkel θ beeinflussbar ist oder die Teilstrahlen auf eine reflektierende Fläche auftreffen, die in einem Winkel ungleich 0 ° ausgerichtet ist, und die so reflektierten Teilstrahlen auf eine weitere reflektierende Fläche auftreffen und dabei mindestens eines dieser beiden optischen Elemente oder beide optischen Elemente um eine Achse A drehbar sind.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-586011.html