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Title
Plasmapolymerer Festkörper, insbesondere plasmapolymere Schicht mit Kohlenwasserstoffnetzwerkbildung, deren Verwendung sowie Verfahren zu deren Herstellung
Date Issued
2019
Author(s)
Vissing, Klaus-Dieter
Patent No
102017131085
Abstract
Die Erfindung betrifft einen plasmapolymeren Festkörper, insbesondere eine plasmapolymere Schicht, wobei die Untergrenze des E-Moduls des Festkörpers bzw. der Schicht durch eine bestimmte Funktion festgelegt ist, was für bestimmte Bereiche des E-Moduls gilt und für bestimmte C/O Stoffmengenverhältnisse ermittelt mittels XPS. Die Erfindung betrifft ferner die Verwendung eines entsprechenden plasmapolymeren Festkörpers bzw. eine plasmapolymere Schicht sowie ein Verfahren zu deren Herstellung.
The invention relates to a solid plasma polymer body, in particular a plasma polymer layer, wherein the lower limit of the elastic modulus of the solid body or the layer is determined by a specific function, which applies to certain ranges of the elastic modulus and is determined for specific C/O amount of substance ratios by means of XPS. The invention further relates to the use of a corresponding solid plasma polymer body or plasma polymer layer and to a method for the production thereof.
Language
de
Patenprio
DE 102017131085 A1: 20171222