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Plasmapolymerer Festkörper, insbesondere plasmapolymere Schicht mit Kohlenwasserstoffnetzwerkbildung, deren Verwendung sowie Verfahren zu deren Herstellung

Solid plasma polymer body, in particular plasma polymer layer with hydrocarbon network formation, use thereof and method for the production thereof
 
: Vissing, Klaus-Dieter; Brenner, Thorben

:
Frontpage ()

DE 102017131085 A1: 20171222
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IFAM ()

Abstract
Die Erfindung betrifft einen plasmapolymeren Festkörper, insbesondere eine plasmapolymere Schicht, wobei die Untergrenze des E-Moduls des Festkörpers bzw. der Schicht durch eine bestimmte Funktion festgelegt ist, was für bestimmte Bereiche des E-Moduls gilt und für bestimmte C/O Stoffmengenverhältnisse ermittelt mittels XPS. Die Erfindung betrifft ferner die Verwendung eines entsprechenden plasmapolymeren Festkörpers bzw. eine plasmapolymere Schicht sowie ein Verfahren zu deren Herstellung.

 

The invention relates to a solid plasma polymer body, in particular a plasma polymer layer, wherein the lower limit of the elastic modulus of the solid body or the layer is determined by a specific function, which applies to certain ranges of the elastic modulus and is determined for specific C/O amount of substance ratios by means of XPS. The invention further relates to the use of a corresponding solid plasma polymer body or plasma polymer layer and to a method for the production thereof.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-586009.html