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Verfahren zur Herstellung elektrischer Kontakte auf einer Solarzelle

 
: Büchler, Andreas; Glatthaar, Markus; Hofmann, Marc; Kafle, Bishal; Kluska, Sven; Nagel, Henning

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Frontpage ()

DE 102017217713 A1: 20171005
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ISE ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung elektrischer Kontakte auf einer Solarzelle, das folgende Schritte umfasst:- Aufbringen einer dielektrischen Ausgangsbeschichtung auf dem Halbleiter-Substrat der Solarzelle,- Abtragen der dielektrischen Ausgangsbeschichtung in definierten Bereichen, so dass eine strukturierte dielektrische Beschichtung und freigelegte Bereiche des Halbleiter-Substrats erhalten werden,- Behandlung der freigelegten Bereiche des Halbleiter-Substrats mit einem halogenhaltigen Gas in einem Plasma-freien Trockenätzschritt unter Erhalt eines geätzten Halbleiter-Substrats in den freigelegten Bereichen,- elektrochemische oder chemische Abscheidung eines Metalls oder eines Halbleiters auf dem geätzten Halbleiter-Substrat.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-585928.html