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Anordnung zur Beschichtung von Substratoberflächen mittels elektrischer Lichtbogenentladung

 
: Kaulfuß, Frank; Zimmer, Otmar

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DE 102017213404 A1: 20170802
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IWS ()

Abstract
Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Beschichtung von Substratoberflächen mittels elektrischer Lichtbogenentladung in einer Vakuumkammer, bei der elektrische Bogenentladungen zwischen einem elektrisch als Kathode geschalteten Target (1), das aus einem metallischen Werkstoff gebildet ist, genutzt werden. In einem Abstand zum Target (1) ist eine Anode (2) angeordnet, mit dem die elektrischen Bogenentladungen zur Bildung eines mit metallischem Werkstoff des Targets (1) gebildeten Plasma, gezündet werden. Das Target (1) i9st an eine erste elektrische Stromquelle (3) und die Anode (2) an eine zweite elektrische Stromquelle (4) angeschlossen, wobei sich die absoluten Beträge der an das Target (1) und der an die Anode (2) angeschlossenen elektrischen Spannungen voneinander unterscheiden.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-585867.html