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Verfahren zur Herstellung einer MEMS Spiegelanordnung und MEMS Spiegelanordnung

 
: Hofmann, Ulrich; Quenzer, Hans-Joachim; Stenchly, Vanessa

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Frontpage ()

DE 102017213070 A1: 20170728
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ISIT ()

Abstract
Es wird eine MEMS Spiegelanordnung zum Erfassen eines großen Winkelbereichs bis zu 180°, vorzugsweise bis zu 160°, und ein Verfahren zur Herstellung einer MEMS Spiegelanordnung vorgeschlagen. Die Spiegelanordnung umfasst ein Trägersubstrat (1), an dem ein um mindestens eine Achse schwingender Spiegel (2) aufgehängt ist, einen transparenten Deckel (4), der mit dem Trägersubstrat (1) hermetisch dicht verbunden ist und der eine halbkugelförmige Kuppel (6) aufweist ist, und eine Kompensationsoptik (8), die in einem vorgegebenen Strahlengang für ein einfallendes Strahlenbündel außerhalb der Kuppel (6) angeordnet ist, wobei die Mitte des Spiegels (2) im Mittelpunkt der Kuppel liegt und wobei die Kompensationsoptik (8) das einfallende Strahlenbündel derart kollimiert, dass eine durch die Grenzflächen der Kuppel hervorgerufene Divergenz oder Konvergenz des Strahlenbündels nach dem Austritt aus der Kuppel (6) im wesentlichen kompensiert ist. Die MEMS Spiegelanordnungen werden durch Fügen eines Deckelwafers und eines Spiegelwafers, die jeweils eine Mehrzahl von halbkugelförmigen Kuppeln und am Trägersubstrat aufgehängten Spiegeln aufweisen, wobei dann die Spiegelanordnungen aus den zusammengefügten Wafern vereinzelt werden. Die Kuppeln des Deckelwafers werden durch das Glasfließen hergestellt.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-585859.html