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Title
Bauteil, das mit ß-Siliciumnitridwerkstoff gebildet ist und ein Verfahren zu seiner Herstellung
Date Issued
2019
Author(s)
Patent No
102017211320
Abstract
Das Bauteil, das mit v-Siliciumnitridwerkstoff gebildet ist weist eine Wärmeleitfähigkeit > 80 W/mK sowie eine dielektrische Durchlagsfestigkeit > 35 KV/mm auf. Ei der Herstellung wird pulverförmiges SiNzu einem blockförmigen Element geformt und bei einer Wärmebehandlung in einer Stickstoffatmosphäre bei einer Temperatur von mindestens 1700 °C verdichtet. Im Anschluss an eine nachfolgende Abkühlung aus dem blockförmigen Element werden Trägerelemente als scheibenförmige Elemente mit einer Dicke der einzelnen Trägerelemente im Bereich 100 µm bis 3 mm mittels eines Drahtsägeprozesses erhalten.
Language
de
Patenprio
DE 102017211320 A1: 20170704