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Bauteil, das mit ß-Siliciumnitridwerkstoff gebildet ist und ein Verfahren zu seiner Herstellung

 
: Fuchs, Marcel; Herrmann, Mathias; Kaden, Thomas; Wolfrum, Anne-Kathrin

:
Frontpage ()

DE 102017211320 A1: 20170704
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IKTS ()

Abstract
Das Bauteil, das mit β-Siliciumnitridwerkstoff gebildet ist weist eine Wärmeleitfähigkeit > 80 W/mK sowie eine dielektrische Durchlagsfestigkeit > 35 KV/mm auf. Ei der Herstellung wird pulverförmiges SiNzu einem blockförmigen Element geformt und bei einer Wärmebehandlung in einer Stickstoffatmosphäre bei einer Temperatur von mindestens 1700 °C verdichtet. Im Anschluss an eine nachfolgende Abkühlung aus dem blockförmigen Element werden Trägerelemente als scheibenförmige Elemente mit einer Dicke der einzelnen Trägerelemente im Bereich 100 µm bis 3 mm mittels eines Drahtsägeprozesses erhalten.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-585841.html