Fraunhofer-Gesellschaft

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Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen

 
: Gommel, Udo

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Fertigen unter reinen Bedingungen : Grundlagen, Praxis und Anregungen zur Qualitätssteigerung. Fraunhofer IPA Seminar, 8. und 9. Mai 2007, Stuttgart
Stuttgart, 2007
12 pp.
Workshop "Fertigen unter reinen Bedingungen" <2007, Stuttgart>
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop) <Mai 2007, Stuttgart>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Reinraumtauglichkeit; Emissionsverhalten; Klassifizierung; Reinraum; Werkstoff; Teilchen; Reibung

Abstract
Zur Unterstützung der Industrie beim Aufbau von Fertigungsanlagen für kontaminationsempfindliche Mikrosysteme werden reinheitsgerechte Grund- und Aufbaumaterialien benötigt. Weltweit stehen keine Werkstofflisten zur Verfügung, so dass bei der Auswahl geeigneter Materialien rein auf optische und nicht wissenschaftlich abgesicherte Kriterien, angewiesen sind. Dem soll durch ein standardisiertes Prüfverfahren zur Beurteilung der Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen entgegengetreten werden.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-58520.html