FEM-Simulation von Mikrowellenfeldern für die Entwicklung von Mikrowellen- und Plasmaanlagen

Die Simulation von Mikrowellenfeldern als Werkzeug für die Entwicklung von effizienten Mikrowellenapplikatoren und Mikrowellen angeregten Plasmaquellen wird am Beispiel zweier einfacher Geometrien mit lokaler Feldkonzentration vorgestellt. Der Schwerpunkt liegt auf der Feldkonfiguration, die für vorgegebene dielektrische Materialien berechnet wird. Typische Anwendungen sind das Aufheizen von Flüssigkeiten und die Anregung von Plasma. Die numerische Simulation bewährt sich hier als große Hilfe bei der Dimensionierung solcher Anlagen.