Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Neuartige poröse Strukturen für MEMS: Erzeugung per Pulveragglomeration mittels ALD

 
: Reimer, T.

Kiel, 2018, xii, 110 pp.
Kiel, Univ., Diss., 2018
German
Dissertation
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-569506.html