Fraunhofer-Gesellschaft

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Qualifizierung von Betriebsmitteln am Beispiel der Partikelmesstechnik und Elektrostatik

Cleanroom suitability of production equipment
 
: Gommel, U.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2001 : 14. und 15. Mai 2001, Stuttgart
Stuttgart: IPA, 2001
Meßtechnisches Praktikum <2001, Stuttgart>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Kontaminationsquelle; Qualifizierung; Reinheitsklasse; Reinraumtauglichkeit; production equipment; qualification; contamination source; cleanroom suitability cleanliness class; cleanroom technique; Reinraumtechnik; Kontamination; Betriebsmittel

Abstract
Die Zahl der Betriebsmittel die in reinen Umgebungen (z.B. Mikroelektronik, Pharmazie, Lebensmittelindustrie, Medizintechnik) eingesetzt werden, steigt stetig an. Der Ruf der Hersteller und Anwender nach der Klärung der Frage, ob die Betriebsmittel den geforderten Reinheitskriterien gerecht werden, wird immer stärker. Hierfür bedarf es an standardisierten Prüfprozeduren für die objektive Qualifizierung des Kontaminationsverhalten von Betriebsmitteln sowie einer abschließenden Bewertung.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-5524.html