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1999
Journal Article
Titel
Reaktives Magnetronsputtern von transparenten und leitfähigen Oxidschichten
Abstract
Transparente und leitfähige Oxide (TCOs) vereinen die optischen Eigenschaften von dielektrischen Materialien mit den elektrischen Eigenschaften von Metallen. Dadurch erfüllen TCO-Schichtsysteme Schlüsselfunktionen für zahlreiche optoelektronische Anwendungen. Erst das reaktive Magnetronsputtern bietet eine Möglichkeit, um derartige Schichtsysteme mit hoher Qualität kostengünstig und großflächig herzustellen.