Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

High temperature implantation of aluminum in 4H silicon carbide

Hochtemperatur-Implantation von Aluminium in 4H-Siliciumcarbid
 
: Rambach, M.; Bauer, A.J.; Ryssel, H.

Kirkby, K.J.:
Ion Implantation Technology. 16th International Conference on Ion Implantation Technology, IIT 2006 : Marseille, France, 11 - 16 June 2006
New York, N.Y.: AIP Press, 2006 (AIP conference proceedings 866)
ISBN: 0-7354-0365-1
ISBN: 978-0-7354-0365-9
pp.287
International Conference on Ion Implantation Technology (IIT) <16, 2006, Marseille>
English
Conference Paper
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-54670.html