Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Große, dreidimensionale Mikrostrukturen mittels Interferenzlithographie

 
: Mick, J.; Forberich, K.; Bläsi, B.; Gombert, A.; Reinecke, H.; Müller, C.

Zengerle, R. ; Bundesministerium für Bildung und Forschung -BMBF-; Verband der Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik -VDE-; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg
Berlin: VDE-Verlag, 2005
ISBN: 3-8007-2926-1
ISBN: 978-3-8007-2926-5
pp.283-286
Mikrosystemtechnik Kongress <2005, Freiburg>
German
Conference Paper
Fraunhofer ISE ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-54496.html