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Beschichtungsverfahren: Tl.4 - Bedampfen II
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2006
Journal Article
Titel
Beschichtungsverfahren: Tl.4 - Bedampfen II
Author(s)
Schultrich, B.
Zeitschrift
Vakuum in Forschung und Praxis
DOI
10.1002/vipr.200690047
Language
German
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Fraunhofer-Institut fĂĽr Werkstoff- und Strahltechnik IWS