Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Mikro- und Nanotechnologien zur Herstellung steuerbarer optischer Komponenten

 
: Hiller, K.; Helke, C.; Seifert, M.; Seiler, J.; Kurth, S.; Meinig, M.; Wecker, J.

Mehner, J. ; TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik:
14. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik 2018 : Chemnitz, 23./24. Oktober 2018
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2018
ISBN: 978-3-00-060648-9
pp.33-36
Fachtagung Mikrosystemtechnik <14, 2018, Chemnitz>
German
Conference Paper
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-538002.html