Hochionisiere Abscheideverfahren für Sensor- und Hartstoffschichten auf Kohlenstoffbasis

Diamantartige Kohlenstoffschichten nehmen aufgrund ihrer hohen Härte und geringen Reibung eine zentrale Rolle ein, speziell im Bereich der Reibungs- und Verschleißminderung. Darüber hinaus weisen die Schichten ein hohes Potenzial als Sensorschicht in rauer Umgebung auf. Somit bieten sich sehr gute Alternativen für die Abscheidung hochwertiger glatter Schichten.