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2018
Journal Article
Titel
Hochionisiere Abscheideverfahren für Sensor- und Hartstoffschichten auf Kohlenstoffbasis
Alternative
Hochionisierte Abscheideverfahren für Sensor- und Hartstoffschichten auf Kohlenstoffbasis
Abstract
Diamantartige Kohlenstoffschichten nehmen aufgrund ihrer hohen Härte und geringen Reibung eine zentrale Rolle ein, speziell im Bereich der Reibungs- und Verschleißminderung. Darüber hinaus weisen die Schichten ein hohes Potenzial als Sensorschicht in rauer Umgebung auf. Somit bieten sich sehr gute Alternativen für die Abscheidung hochwertiger glatter Schichten.