Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
Aspects of high aspect ratio silicon etching - capacitor application
Presentation held at VDI GMM Workshop 2018, December 5th, Erlangen, Germany
:
Rudolph, Matthias
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Pätzold, Björn
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Czernohorsky, Malte
2018, 20 pp.
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (Fachtagung) <2018, Erlangen>
English
Presentation
Fraunhofer IPMS
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Anfrage beim Institut / Available on request from the institute bibliothek@ipms.fraunhofer.de
:
http://publica.fraunhofer.de/documents/N-531392.html
