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Verfahren zum Herstellen eines optischen Mikrolinsenarrays

Method for producing an optical microlens array
 
: Beckert, Erik; Dannberg, Peter; Pabst, Oliver

:
Frontpage ()

DE 102017203180 A1: 20170227
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IOF ()

Abstract
Die Erfindung betrifft ein optisches Mikrolinsenarray (20, 20', 20", 20"') sowie ein Verfahren zum Herstellen eines solchen optischen Mikrolinsenarrays (20, 20', 20", 20'"), wobei das Verfahren unter anderem das Bereitstellen eines Substrats (10) mit einer ersten Seite (11) und einer gegenüberliegenden zweiten Seite (12) beinhaltet. Das Verfahren beinhaltet ferner ein zumindest abschnittsweises Aufbringen eines Fotolacks (13) auf die erste Seite (11) des Substrats (10), sowie ein Strukturieren des Fotolacks (13) derart, dass der strukturierte Fotolack (13a - 13e) an vorbestimmten Orten (15a - 15e) auf der ersten Seite (11) des Substrats (10) verbleibt, an denen später jeweils eine optische Mikrolinse (16a - 16e) angeordnet werden soll. Des weiteren beinhaltet das Verfahren ein Aufbringen einer hydrophoben Beschichtung (14) auf die erste Seite (11) des Substrats (10) und ein anschließendes Entfernen des strukturierten Fotolacks (13a - 13e) einschließlich der darauf befindlichen hydrophoben Beschichtung (14) von der ersten Seite (11) des Substrats (10). Außerdem wird erfindungsgemäß je eine Mikrolinse (16a - 16e) auf die von dem strukturierten Fotolack (13a - 13e) befreiten Stellen der ersten Seite (11) des Substrats (10) angeordnet.

 

The invention relates to an optical microlens array (20, 20', 20", 20"') and to a method for producing such an optical microlens array (20, 20', 20", 20'"), said method including, inter alia, providing a substrate (10) with a first side (11) and an opposing second side (12). The method also includes applying a photoresist (13) to at least sections of the first side (11) of the substrate (10), and structuring the photoresist (13) such that the structured photoresist (13a-13e) remains in pre-determined areas (15a-15e) on the first side (11) of the substrate (10), on each of which an optical microlens (16a-16e) is later to be arranged. The method also includes applying a hydrophobic coating (14) to the first side (11) of the substrate (10) and subsequently removing the structured photoresist (13a-13e), including the hydrophobic coating (14) applied thereto, from the first side (11) of the substrate (10). Furthermore, a microlens (16a-16e) is arranged on each site of the first side (11) of the substrate (10), from which the structured photoresist (13a-13e) has been removed.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-530929.html