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Verfahren zum Bestimmen der spezifischen Oberfläche eines Substratoberflächenbereiches

 
: Fahlteich, John; Günther, Steffen; Holst, Emmy; Steiner, Cindy

:
Frontpage ()

DE 102017103612 A1: 20170222
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer FEP ()

Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen der spezifischen Oberfläche innerhalb eines Oberflächenbereiches eines Substrates, wobei innerhalb mindestens einer Prozesskammer eine Schicht mittels Atomlagenabscheidung zumindest auf dem Substratoberflächenbereich abgeschieden wird. Nach der Schichtabscheidung wird innerhalb des Substratoberflächenbereichs mittels Energiedispersiver Röntgenspektroskopie oder mittels Röntgenfluoreszenzspektroskopie ein Peak einer Spektrallinie für ein am Schichtaufbau beteiligtes chemisches Element ermittelt und anhand der Höhe des ermittelten Peaks und/oder anhand einer Peakfläche des ermittelten Peaks eine qualitative und/oder quantitative Aussage bezüglich der spezifischen Oberfläche innerhalb des Substratoberflächenbereichs abgeleitet.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-530914.html