Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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MMS, MMS-Array, MEMS-Aktuator und Verfahren zum Bereitstellen eines MMS

 
: Dürr, Peter; Friedrichs, Martin; Gehner, Andreas; Kunze, Detlef

:
Frontpage ()

DE 102017201309 A1: 20170127
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
Ein MMS umfasst ein Substrat, ein gegenüber dem Substrat bewegliches Element und eine Rahmenstruktur. Ein erstes Federpaar ist zwischen dem Substrat und der Rahmenstruktur entlang einer ersten Federrichtung angeordnet ist. Ein zweites Federpaar ist zwischen dem beweglichen Element und der Rahmenstruktur einer zweiten Federrichtung angeordnet. Die Rahmenstruktur ist ausgebildet, um bei einer Zugspannung, die in dem ersten Federpaar wirkt, eine Zugspannung in dem zweiten Federpaar zu erzeugen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-530897.html