Fraunhofer-Gesellschaft

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Mikromechanische Bauelemente mit mechanischen Aktuatoren

Micromechanical devices with mechanical actuators
 
: Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald; Uhlig, Sebastian

:
Frontpage ()

DE 102017200308 A1: 20170110
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
Ein planarer mikromechanischer Aktuator, der an gegenüberliegenden Aufhängungszonen aufgehängt ist, mit einer neutralen Achse zwischen den gegenüberliegenden Aufhängungszonen, einem ersten bis vierten Segment, in die der planare mikromechanische Aktuator zwischen den gegenüberliegenden Aufhängungszonen segmentiert ist, wobei jedes eine erste Elektrode und eine zweite Elektrode aufweist, die einen Kondensator bilden und an gegenüberliegenden Enden des jeweiligen Segments entlang einer Richtung zwischen den gegenüberliegenden Aufhängungszonen isoliert aneinander befestigt sind, um so eine Lücke zwischen der ersten und zweiten Elektrode entlang einer Dickenrichtung zu bilden, wobei die Lücke von der neutralen Achse entlang der Dickenrichtung versetzt ist, und wobei das erste bis vierte Segment derart ausgebildet sind, dass der planare mikromechanische Aktuator daraufhin, dass eine Spannung an die erste und zweite Elektrode des ersten bis vierten Segments angelegt wird, dadurch, dass sich das erste und vierte Segment in der Dickenrichtung biegen und das zweite und dritte Segment entgegengesetzt zu der Dickenrichtung biegen, in die Dickenrichtung ausgelenkt wird.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-530871.html