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System zur Analyse von elektromagnetischer Strahlung und Bauelement zur Herstellung desselben

System for analyzing electromagnetic radiation, and device for producing same
 
: Grüger, Heinrich; Knobbe, Jens; Pügner, Tino

:
Frontpage ()

DE 102016225344 A1: 20161216
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung schaffen einen Polychromator, mit einem Substrat und einem optisch spektralzerlegend wirkenden Funktionselement. Das optisch spektralzerlegend wirkenden Funktionselement ist ausgebildet, um eine von einer Eintrittsöffnung stammende elektromagnetische Strahlung, z.B. von einer optionalen Strahlenquelle an einer Probe reflektiertes Licht spektral zu zerlegen, sodass ein spektral zerlegtes Spektrum erhalten wird, und um das spektral zerlegte Spektrum auf einen räumlichen Bereich des Substrats abzubilden. Das Substrat weist zumindest zwei transparente Zonen an unterschiedlichen Positionen in dem räumlichen Bereich auf, sodass an den zwei transparente Zonen zwei unterschiedliche Spektralanteile des Spektrums detektierbar sind.

 

A polychromator includes a substrate and a functional element having an optical spectral decomposition action. The functional element having an optical spectral decomposition action is configured to spectrally decompose electromagnetic radiation originating from an entry opening, e.g. light which originates from an optional radiation source and is reflected at a sample, so that a spectrally decomposed spectrum is obtained, and to image the spectrally decomposed spectrum onto a spatial area of the substrate. The substrate includes at least two transparent zones at different positions within the spatial area, so that two different spectral components of the spectrums are detectable at the two transparent zones.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-530850.html