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Bilderzeugungseinrichtung

 
: Giese, Thorsten; Janes, Joachim

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DE 102016221933 A1: 20161109
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ISIT ()

Abstract
Die Erfindung bezieht sich auf eine Bilderzeugungseinrichtung mit einer Laserlichtquelle (1), einer Spiegelanordnung mit zwei Parabolspiegeln (3, 6), über die ein durch die Laserlichtquelle erzeugter Abtast-Lichtstrahl (1a, 5) auf eine Probenfläche (9) geleitet wird, und mit einer Umlenkeinrichtung (2), insbesondere einem Mikrospiegel-Scanner, die derart steuerbar ist, dass der Abtast-Lichtstrahl (1a, 5) gezielt Punkte der Probenfläche abtastet, sowie mit einem Detektor (10), der Strahlung nachweist, die von einem abgetasteten Punkt der Probenfläche ausgeht. Die Ortsauflösung der Bilderzeugungseinrichtung ist im Wesentlichen durch eine möglichst enge Bündelung des Laserstrahls und die Genauigkeit des einstellbaren Ablenkwinkels durch den Mikrospiegelscanner definiert.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-530790.html