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Optische Anordnung für ein Spektralanalysesystem, Verfahren zu dessen Herstellung und Spektralanalysesystem

Optical Arrangement for a spectral analysis system, method for its production, and spectral analysis system
 
: Grüger, Heinrich; Knobbe, Jens; Pügner, Tino

:
Frontpage ()

DE 102016118135 A: 20160926
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
Es wird eine optische Anordnung für ein Spektralanalysesystem (20) beschrieben, umfassend ein Beugungsgitter (15), das beweglich in einem Rahmen (17) angeordnet ist, und ein Trägersubstrat (1), auf dem der Rahmen (17) mit dem Beugungsgitter (15) angeordnet ist, wobei das Trägersubstrat (1) eine Auflage (8) für den Rahmen (17) aufweist, auf der der Rahmen (17) in einer gegenüber einer Grundfläche (9) des Trägersubstrats (1) geneigten Auflageposition angeordnet ist, so dass das in dem Rahmen (17) angeordnete Beugungsgitter (15) in einer Grundposition zur Grundfläche (9) des Trägersubstrats (1) geneigt ist. Weiterhin werden ein Spektralanalysesystem (20) mit der optischen Anordnung und ein Verfahren zur Herstellung der optischen Anordnung angegeben.

 

An optical arrangement for a spectral analysis system, a method for producing an optical arrangement for a spectral analysis system and a spectral analysis system are disclosed. In an embodiment the optical arrangement includes a carrier substrate having a placement area for a frame and a base area, and a diffraction grating movably arranged in the frame, wherein the frame is arranged on the placement area in an inclined placement position with respect to the base area so that the diffraction grating, arranged in a base position, is inclined with respect to the base area.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-530745.html