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Verfahren zur Herstellung eines mikrobearbeiteten Werkstücks mittels Laserabtrag

Method for producing a micro-machined workpiece by means of laser ablation
 
: Höche, Thomas; Krause, Michael

:
Frontpage ()

EP 3296054 A1: 20160919
English
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IMWS ()

Abstract
Bei einem Verfahren zur Herstellung eines mikrobearbeiteten Werkstücks mittels Lasermikrobearbeitung wird eine Schutzschicht (SS) auf eine Oberfläche (OF) des Werkstücks (WS) aufgebracht und die Oberfläche wird in einem Bearbeitungsbereich durch die Schutzschicht hindurch mittels eines Laserstrahls (LS) bearbeitet. Die Schutzschicht (SS) wird unter Verwendung eines Schichtfluids erzeugt, das eine wenigstens teilweise flüchtige Trägerflüssigkeit aufweist, in der metallische und/oder keramische Partikel (PT) verteilt sind. Das Schichtfluid wird auf die Oberfläche (OF) so aufgebracht, dass wenigstens der Bearbeitungsbereich mit einer Schicht des Schichtfluids bedeckt ist. Die aufgebrachte Schicht wird zur Reduzierung des Anteils an Trägerflüssigkeit derart getrocknet, dass sich eine Schutzschicht (SS) bildet, die im Wesentlichen aus den Partikeln (PT) des aufgebrachten Schichtfluids oder aus diesen Partikeln und einem gegenüber dem Schichtfluid reduzierten Anteil der Trägerflüssigkeit besteht. Dann wird der Bearbeitungsbereich mittels eines Laserstrahls (LS) bearbeitet, der durch die Schutzschicht hindurch auf das Werkstück (WS) eingestrahlt wird.

 

A method of producing a micromachined workpiece by laser micromachining includes applying a protective layer (SS) to a surface (OF) of the workpiece (WS) and machining the surface in a machining area by a laser beam (LS) through the protective layer, wherein the protective layer (SS) is produced using a coating fluid (SF) containing an at least partially volatile carrier liquid (TF) in which metallic and/or ceramic particles (PT) are dispersed; the coating fluid (SF) is applied to the surface (OF) such that at least the machining area (MA) is covered with a protective coating fluid layer (SSF); the applied coating is dried to reduce the content of carrier liquid (TF) such that a protective layer (SS) forms, which is essentially composed of the particles (PT) of the applied coating fluid or of these particles and a reduced content of the carrier liquid relative to the coating fluid; and machining of the machining areas is carried out by a laser beam (LS) irradiated through the protective layer onto the workpiece (WS).

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-530721.html