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Verfahren zum Herstellen einer magnetischen Struktur

Method of producing a magnetic structure
 
: Lisec, Thomas; Lofink, Fabian

:
Frontpage ()

DE 102016215616 A1: 20160819
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ISIT ()

Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung sowie ein Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung, wobei das Verfahren unter anderem ein Bereitstellen eines Substrats (10) und Erzeugen von mindestens zwei voneinander beabstandeten Kavitäten (11a, 11b) in dem Substrat (10) aufweist. Erfindungsgemäß weist jede Kavität (11) ein Aspektverhältnis (l/d) von mindestens 6:1 bei einer Tiefe (l) von mindestens 50 µm auf. Die Kavitäten (11) werden mit magnetischen Partikeln (12) aufgefüllt, wobei die magnetischen Partikel (12) an Berührungspunkten miteinander in Kontakt treten und zwischen den Berührungspunkten Hohlräume gebildet werden. Zumindest ein Teil der magnetischen Partikel (12) wird an deren Berührungspunkten miteinander verbunden, und zwar durch Beschichten der magnetischen Partikel (12), wobei die Hohlräume zumindest teilweise von der beim Beschichten erzeugten Schicht durchdrungen werden, so dass die verbundenen magnetischen Partikel (12) eine magnetische poröse Struktur (13) bilden.

 

A device and to a method of producing a device, wherein the method includes, inter alia, providing a substrate and generating at least two mutually spaced-apart cavities within the substrate. In accordance with the invention, each cavity has a depth of at least 50 μm. The cavities are filled up with magnetic particles, wherein the magnetic particles enter into contact with one another at points of contact, and wherein cavities are formed between the points of contact. At least some of the magnetic particles are connected to one another at their points of contact, specifically by coating the magnetic particles, wherein the cavities are at least partly penetrated by the layer produced in the coating process, so that the connected magnetic particles form a magnetic porous structure.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-530695.html