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Verfahren zum Herstellen eines Hohlraums mit poröser Struktur

Method for producing a cavity with porose structure
 
: Lisec, Thomas; Lofink, Fabian

:
Frontpage ()

DE 102016215617 A1: 20160819
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ISIT ()

Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung, wobei ein Substrat (10) bereitgestellt wird, das eine Aussparung (11) aufweist. In die Aussparung (11) wird eine Vielzahl loser Partikel (12) eingebracht. Ein erster Anteil (1) der Partikel (12) wird, unter Verwendung eines Beschichtungsprozesses, der eine Eindringtiefe von einer Öffnung (11d) der Aussparung (11) ausgehend entlang einer Tiefenrichtung (14) in die Aussparung (11) hinein aufweist, beschichtet, so dass der erste Anteil (1) zu einer verfestigten porösen Struktur (13) verbunden wird. Die Eindringtiefe des Beschichtungsprozesses in die Aussparung (11) wird so eingestellt, dass ein zweiter Anteil (2) der Partikel (12) nicht mittels der Beschichtung verbunden wird, und so dass der verfestigte erste Anteil (1) der Partikel (12) zwischen dem zweiten Anteil (2) der Partikel (12) und einer Umgebung (15) der Aussparung (11) angeordnet ist. Erfindungsgemäß wird der zweite Anteil (2) der Partikel (12) zumindest teilweise aus der Aussparung (11) entfernt.

 

A method of producing a device includes providing a substrate which has a recess. A multitude of loose particles is introduced into the recess. A first portion of the particles is coated by using a coating process having a depth of penetration which extends from an opening of the recess, along a direction of depth, and into the recess, so that the first portion is connected to form a solidified porous structure. The depth of penetration of the coating process which extends into the recess is set such that a second portion of the particles is not connected by means of the coating, and such that the solidified first portion of the particles is arranged between the second portion of the particles and surroundings of the recess. According to the invention, the second portion of the particles is at least partly removed from the recess.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-530691.html