Fraunhofer-Gesellschaft

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Spiegel zur Reflexion von EUV-Strahlung mit Spannungskompensation und Verfahren zu dessen Herstellung

Mirror for reflecting EUV radiation with tension compensation an method for producing the same
 
: Kaiser, Norbert; Murray, Kevin; Naujok, Philipp; Yulin, Sergiy

:
Frontpage ()

DE 102016107969 A1: 20160429
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IOF ()

Abstract
Es wird ein Spiegel (5) zur Reflexion von EUV-Strahlung angegeben, umfassend eine auf einem Substrat (1) angeordnete spannungskompensierende Schichtenfolge (2), die abwechselnde erste Schichten (2a) und zweite Schichten (2b) aufweist, wobei die ersten Schichten (2a) Bor, ein Bornitrid, ein Borcarbid oder ein Boroxid aufweisen und die zweiten Schichten (2b) Lanthan, ein Lanthannitrid, ein Lanthancarbid oder ein Lanthanoxid aufweisen, und wobei die spannungskompensierende Schichtenfolge (2) eine Zugspannung aufweist. Über der spannungskompensierenden Schichtenfolge (2) ist eine reflektierende Schichtenfolge (3) angeordnet, die abwechselnde dritte Schichten (3a) und vierte Schichten (3b) aufweist, wobei die reflektierende Schichtenfolge (3) eine Druckspannung aufweist. Weiterhin wird ein Verfahren zur Herstellung des EUV-Spiegels (5) beschrieben.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-530576.html