Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

In-situ measurement of microstructured surfaces in ultra precision machines

 
: Pfeifer, T.; Schneefuß, K.

Dietzsch, M.:
XI. International Colloquium on Surfaces = XI. Internationales Oberflächenkolloquium 2004. Proceedings. Vol.1 : February 2nd and 3rd, 2004, Germany, Chemnitz
Aachen: Shaker, 2004
ISBN: 3-8322-2418-1
pp.224-232
Internationales Oberflächenkolloquium <11, 2004, Chemnitz>
International Colloquium on Surfaces (ICS) <11, 2004, Chemnitz>
English
Conference Paper
Fraunhofer IPT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-52210.html