Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Approach to a machine-integrated measurement device for the interferometric testing of ultraprecise surfaces

 
: Pfeifer, T.; Dörner, D.; Schneefuß, K.

Verein Deutscher Ingenieure e.V. -VDI-, Kompetenzfeld Optische Technologien:
Photonics in measurement : International Symposium, Frankfurt, 23.-24.6.2004
Düsseldorf: VDI-Verlag, 2004 (VDI-Berichte 1844)
ISBN: 3-18-091844-6
pp.423-431
International Symposium on Photonics in Measurement <2004, Frankfurt/Main>
English
Conference Paper
Fraunhofer IPT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-52198.html