Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

ISPROM, ein in-situ-Multigasanalysator für CVD- und Ätzprozesse

 
: Grählert, W.; Dani, I.; Mäder, G.; Throl, O.; Hopfe, V.; Pietsch, K.; Wünsche, T.; Dreyer, T.

Verein Deutscher Ingenieure e.V. -VDI-, Kompetenzfeld Optische Technologien:
Anwendungen und Trends in der Optischen Analysenmesstechnik. 5. Konferenz über Optische Analysenmesstechnik in Industrie und Umwelt 2006 : Konferenz Mannheim, 26. bis 27. September 2006
Düsseldorf: VDI-Verlag, 2006 (VDI-Berichte 1959)
ISBN: 3-18-091959-0
pp.45-56
Konferenz über Optische Analysenmesstechnik in Industrie und Umwelt <5, 2006, Mannheim>
German
Conference Paper
Fraunhofer IWS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-52067.html