Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Entwicklung von Schwingungssensoren auf MEMS-Basis für Condition Monitoring Systeme im Maschinen- und Anlagenbau

 
: Dittrich, C.; Forke, R.; Hiller, K.; Kreutziger, P.; Kuerschner, R.; Meinecke, C.; Reuter, D.; Weidlich, S.; Streit, P.; Hahn, S.

Mehner, J. ; TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik:
14. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik 2018 : Chemnitz, 23./24. Oktober 2018
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2018
ISBN: 978-3-00-060648-9
pp.12-17
Fachtagung Mikrosystemtechnik <14, 2018, Chemnitz>
German
Conference Paper
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-519970.html