Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Defect printability study using EUV lithography

 
: Holfeld, C.; Bubke, K.; Lehmann, F.; La Fontaine, B.; Pawloski, A.R.; Schwarzl, S.; Kamm, F.M.; Graf, T.; Erdmann, A.

:

Lercel, M.J. ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.:
Emerging Lithographic Technologies X. Vol.1 : 21-23 February 2006 San Jose, California, USA
Bellingham/Wash.: SPIE, 2006 (SPIE Proceedings Series 6151)
ISBN: 0-8194-6194-6
ISBN: 978-0-8194-6194-0
Paper 61510U
Conference "Emerging Lithographic Technologies" <10, 2006, San Jose/Calif.>
English
Conference Paper
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-51954.html