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Kompakte UV-Lichtquelle

Ultraviolet light source for e.g. ultraviolet microscopy, has dielectric arranged between two electrodes, where one electrode includes tip directed to another electrode, such that shortest distance is defined between electrodes
 
: Heise, M.; Franken, O.

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DE 102005007370 A: 20050217
DE 2005-102005007370 A: 20050217
DE 102005007370 B3: 20060921
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ILT ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine kompakte UV-Lichtquelle mit zumindest zwei voneinander beabstandeten Elektroden, zwischen denen ein Dielektrikum angeordnet ist, durch das bei Anlegen einer hohen Wechselspannung zwischen den Elektroden eine Barriereentladung erzeugbar ist. Ein Entladungsraum zwischen den beiden Elektroden ist mit einem in plasmaangeregtem Zustand UV-Strahlung emittierenden Gas oder Gasgemisch gefuellt. Die vorliegende UV-Lichtquelle zeichnet sich dadurch aus, dass eine der beiden Elektroden eine zur anderen Elektrode gerichtete Spitze aufweist oder mit einer derartigen Spitze versehen ist, durch die ein kuerzester Abstand zur anderen Elektrode festgelegt ist. Mit der vorliegenden Erfindung wird eine kostenguenstige UV-Lichtquelle mit einem Licht emittierenden Volumen geringer Ausdehnung bereitgestellt, die fuer Anwendungen in der UV-Mikroskopie geeignet ist.

 

DE 102005007370 B3 UPAB: 20061005 NOVELTY - The light source has a dielectric arranged between high voltage and ground electrodes (1, 2). The dielectric produces a barrier discharge by the application of high alternating current voltage between the electrodes. A discharge space between the electrodes is filled with gas that emits ultraviolet radiation. The electrode (1) has a tip directed to the electrode (2), such that a shortest distance is defined between the electrodes. USE - Used for ultraviolet treatment of surfaces and for ultraviolet microscopy that is utilized for quality control in the lithography or for the examination of a biological material. ADVANTAGE - The shortest distance between the electrodes restricts the discharging on the individual electrodes, thus achieving a light source with light emitting volume of smaller dimension, suitable for application in imaging optics.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-51822.html