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Verfahren zur Mikrostrukturierung von Festkoerperoberflaechen

 
: Mayer, K.; Kray, D.; Baumann, S.; Kolbesen, B.O.

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DE 102005012490 A1: 20050316
DE 2006-102006003604 A: 20060125
WO 2006-EP2193 A: 20060309
DE 102006003604 A1: 20061123
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IWM ()

Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Mikrostrukturierung von Festkoerperoberflaechen durch chemisches oder elektrochemisches Aetzen, bei dem die Festkoerperoberflaeche mit einem Aetzfluid unter Bildung von im Aetzfluid unloeslichen oder gering loeslichen Zwischenprodukten behandelt wird. Durch zusaetzliche Verwendung eines Partikelstrahls koennen diese Zwischenprodukte auf einfache Weise entfernt werden. Hiermit verbunden ist der Vorteil, dass eine schaedigungsarme Mikrostrukturierung von Festkoerpern ermoeglicht wird.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-51729.html