Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Stress induced leakage current mechanism in thin Hf-silicate layers

 
: Paskaleva, A.; Lemberger, M.; Bauer, A.J.

:

Applied Physics Letters 92 (2007), No.4, Art. 042105, 3 pp.
ISSN: 0003-6951
ISSN: 1077-3118
English
Journal Article
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-51691.html