Fraunhofer-Gesellschaft

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Grundlegende Untersuchungen zur Eigenspannungsmessung im Mikrometerbereich durch Korrelation magnetischer Prüfgrößen mit experimentell ermittelten Dehnungs- und Spannungsfeldern

 
: Altpeter, I.; Kühn, S.; Kopp, M.; Arnold, W.; Kröning, M.; Zehetbauer, M.

Deutsche Gesellschaft für Zerstörungsfreie Prüfung e.V. -DGZfP-, Berlin:
ZfP im Übergang zum 3. Jahrtausend. DGZfP-Jahrestagung 2000. Band 1
2000 (DGZfP-Berichtsbände 73.1)
ISBN: 3-931381-32-3
pp.449-456
Deutsche Gesellschaft für Zerstörungsfreie Prüfung (Jahrestagung) <2000, Innsbruck>
German
Conference Paper
Fraunhofer IZFP ()
Eigenspannungsmessung; Eigenspannung; laterale Auflösung; Mikromechanik; Ortsauflösung; Barkhausen Noise and Eddy Current Microscopy (BEMI)

Abstract
Die zunehmende Miniaturisierung von Bauteilen in der Mikromechanik und auch in der Mikroelektronik führt zu einem verstärkten Interesse an Eigenspannungsmessungen mit hoher lateraler Auflösung. Im Rahmen eines DFG-Forschungsvorhabens wurde die Grundlage für eine quantitative Eigenspannungsmeßmethode im Mikrometerbereich erarbeitet, die weniger zeit- und kostenintensiv als die röntgenographische Ermittlung von Mikroeigenspannungen ist. Mit dem Barkhausen- und Wirbelstrommikroskop (BEMI) steht erstmals ein leistungsfähiges Prüfsystem zur Verfügung, das nach entsprechender Kalibrierung zur berührungslosen, ortsaufgelösten Eigenspannungsmessung im µm-Bereich eingesetzt werden kann.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-5167.html