Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

MEMS integration on foundry-fabricated CMOS backplanes

 
: Hohle, Christoph; Schulze, Matthias

:
Fulltext (PDF; )

trias Consult, Berlin:
Microsystems Technology in Germany 2018 : Mikrosystemtechnik in Deutschland 2018
Berlin: Trias Consult, 2018
pp.18-19
English
Book Article, Electronic Publication
Fraunhofer IPMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-515287.html